第(3/3)页 “现在的问题在于,光刻机的对准系统出现了问题。” “在晶圆光刻后,始终会出现一定的偏差!” 贺志远突然流露出一丝微笑。 “至于好消息是,我已经想到了解决这个问题的方法!” “如果不出意外,目前我们所掌握的光刻技术,至少能够制造出1纳米级别的芯片!” 正当众人准备鼓掌的时候。 贺志远举起了手制止了众人。 “还没成功呢!” “何况这点成就,与苏总工的冷核聚变来说,根本不足为题。” “你们快去将光刻机的模具拿过来,还有光刻机对准系统的工作日志打印下来。” “我现在就要对于光刻机的对准系统,进行改良!” 在贺老的言语之下,实验室里的众人立刻忙碌了起来。 贺志远看着头顶明亮的灯泡,流露出笑容。 其实能够在这么短的时间内,光刻机取得阶段性的进展,还是取决于苏川。 首先是,对于苏川提出脉冲冷激光的想法,直接改变了他的思路。 这段时间,他们一直在研究脉冲冷激光。 在此之前,尝试的极紫外光最多也就保证10纳米到15纳米精度的光刻。 脉冲冷激光则既然相反。 在理论上甚至能够达到1纳米级别,甚至更为精细的光刻! 他们在短时间内,光刻机的核心技术,曝光系统突飞猛进。 反而是对准系统,开始拖后腿了。 不过在今天发生的低频电磁脉冲意外后。 实验室里不断闪烁的灯光,给了贺老灵感。 没错,对准系统的解决方法很简单。 只需要反复关闭启动脉冲冷激光,以闪烁的方式进行光刻,在光刻中因为持续运作所造成的误差,可以大幅度减少。 贺老看着几名工作人员递交过来的对准系统运行日志,以及晶圆模具笑了起来。 一切与他计算的一致! 从另外的一个角度来说。 大夏的高精度光刻机,已经可以提前宣布,研发成功了! 第(3/3)页